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EPI外延片

九州bet网址经销世界知名品牌EPI外延片产品。EPI外延片生长方式,等级,直径,厚度,表面处理,晶向,晶向偏角,掺杂类型,电阻率,薄膜,加工服务。

产品详情

直径

4" 

5" 

6" 

8" 

外延层

掺杂

Boron, Phos, Arsenic

 

晶向

<100>, <111>

 

导电类型

P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+

 

电阻率

0.001-50 Ohm-cm

 

电阻率均匀性

Standard <6%, Maximum Capabilities <2%

 

外延层厚度 (um)

0.1-100

 

厚度均匀性

Standard <3%, Maximum Capabilities <1%

衬底

晶向

<100>, <111>

 

导电类型/掺杂元素

P Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb

 

厚度 (um)

300-725

 

电阻率

0.001-100 Ohm-cm

 

表面状态

P/P, P/E

 

颗粒度

<30@.0.5um


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