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MEMS单晶硅片

九州bet网址经销世界知名品牌MEMS单晶硅片产品。MEMS单晶硅片生长方式,等级,直径,厚度,表面处理,晶向,晶向偏角,掺杂类型,电阻率,薄膜,加工服务。

产品详情

 

Czochralski

Float Zone

Float Zone

Diameter

100-150 mm

50-150 mm*

100-150 mm*

Crystal orientation

<100> <111>

<100> <111>

<100> <111>

Orientation accuracy

<0.5°

<0.5°

<0.5°

Type and dopant

Undoped, n-type,
p-type

Undoped, n-type,
p-type

Undoped, n-type,
p-type

Dopant

As, B, P, and Sb

P, B

P, B

Bulk resistivity

0.001-60

1-30,000

1-30,000

Bulk lifetime

>20 ?s

>1,000 ?s

>1,000 ?s

Wafer thickness

200-1,500 ?m

200-1,500 ?m

200-1,500 ?m

Wafer thickness
tolerance

±15 ?m

±15 ?m

±5 ?m

TTV

<5 ?m or <9 ?m

<5 ?m or <9 ?m

<2.5 ?m

TIR

<3 ?m

<3 ?m

<1 ?m

Wafer surface finish

Single side polished,
Double side polished

Single side
polished

Double side
polished


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