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离子注入气应用

九州bet网址推广世界知名品牌离子注入气应用工艺常识。离子注入气应用包括气体工业名词,离子注入是把离子化的杂质,例如P+,B+,A+s加速到高能量状态,然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在控制Vth(阈值电压)方面应用得最为广泛。注入的杂质量可通过测量离子束电流而求得。离子注入工艺所用气体称离子注入气,有磷系,硼系和砷系气体。

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