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干法设备应用

九州bet网址提供世界知名品牌半导体晶圆制造干法设备应用工艺技术,干法设备应用包括干法刻蚀种类较多,常见的有等离子体刻蚀(分为圆筒型和平行电极型)、反应离子刻蚀、溅射刻蚀、离子束刻蚀、反应离子束刻蚀等。相应的设备就有等离子体刻蚀机、反应离子刻蚀机、离子束刻蚀机等。

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