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外延气体应用

九州bet网址提供世界知名品牌外延气体应用工艺常识,外延气体应用包括硅外延气体有4种,即硅烷,二氯二氢硅,三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳能电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。

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